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半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物和重金属的综合治理
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A Comprehensive Abatement Technology for Arsine,Phosphorus, Sulfur,Fluorine,Chlorine,Oxynitrides and Heavy Metals in Semiconductor Industry Waste Water and Gases
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文章历史
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收稿日期 |
修回日期 |
出版日期 |
1999-07-26 |
1999-10-31 |
2000-11-25 |
发布日期 |
|
2000-11-25 |
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