半导体器件内离子有效LET值测量方法研究

史淑廷, 郭刚, 刘建成, 蔡莉, 陈泉, 沈东军, 惠宁, 张艳文, 覃英参, 韩金华, 陈启明, 张付强, 殷倩, 肖舒颜

电子学报 ›› 2018, Vol. 46 ›› Issue (10) : 2546-2550.

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电子学报 ›› 2018, Vol. 46 ›› Issue (10) : 2546-2550. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2018.10.032
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半导体器件内离子有效LET值测量方法研究

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Study of Measurement of the Ion Effective LET in Semiconductor Devices

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