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电子学报  2017, Vol. 45 Issue (5): 1072-1077    DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2017.05.007
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一种基于大范围扫描离子电导显微镜的形貌和体积测量方法
郭仁飞, 庄健, 于德弘
西安交通大学机械工程学院, 陕西西安 710049
Topography and Volume Measurement Method Based on Large-scale Scanning Ion Conductance Microscopy
GUO Ren-fei, ZHUANG Jian, YU De-hong
School of Mechanical Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'an, Shaanxi 710049, China

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