a-SiCx∶H和β-SiC中Er缺陷结构及其1.54μm发光探索

薛俊明;孙钟林;刘志钢;周 伟

电子学报 ›› 2000, Vol. 28 ›› Issue (8) : 135-138.

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a-SiCx∶H和β-SiC中Er缺陷结构及其1.54μm发光探索

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The Structure and 1.54μm Luminescence of Er Defects in a-SiCx∶H and β-SiC

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