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电子学报  2000, Vol. 28 Issue (12): 29-30    DOI:
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场发射阵列中聚焦电极制备的自对准技术
屈晓声1, 李德杰1, 田 宏2, 姚保纶1
1. 清华大学电子工程系,北京 100084;2. 大连铁道学院电信分院,大连 11602
Self-adjustment Technique in Fabricating FFEA
QU Xiao-sheng1, LI De-jie1, TIAN Hong2, YAO Bao-lun1
1. Dept of Electronic Engineering,Thsinghua University,Beijing,100084,China;2. School of Telecommunication Engineering,Dalian Railway Institute,Dalian 11602,China

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