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电子学报  2006, Vol. 34 Issue (11): 1974-1977    DOI:
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真实缺陷的矩形模型及其关键面积计算
王俊平1,2, 郝 跃1
1. 西安电子科技大学微电子研究所,陕西西安 710071;2. 西安电子科技大学通信工程学院,陕西西安 710071
Rectangular Defect Model and Critical Area Computation of Real Defect Outlines in VLSI
WANG Jun-ping1,2, HAO Yue1
1. Research Inst.of Microelectronics,Xidian University,Xi’an,Shaanxi 710071,China;2. School of Communication Engineering,Xidian University,Xi’an,Shaanxi 710071,China

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