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电子学报  2001, Vol. 29 Issue (2): 222-224    DOI:
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共面微波探针在片测试技术研究
孙 伟, 田小建, 何炜瑜, 张大明, 李德辉, 衣茂斌
集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学,长春 130023
On-Wafer Measurement Techniques Using Coplanar Microwave Probe
SUN Wei, TIAN Xiao-jian, HE Wei-yu, ZHANG Da-ming, LI De-hui, YI Mao-bin
National Integrated Optoelectronic Union Laboratory Jilin University Region,Jilin University,Changchun 130023,China

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