VHF-PECVD制备不同衬底温度微晶硅薄膜结构研究

张晓丹, 赵颖, 高艳涛, 朱锋, 魏长春, 孙建, 耿新华, 熊绍珍

电子学报 ›› 2005, Vol. 33 ›› Issue (5) : 920-922.

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电子学报 ›› 2005, Vol. 33 ›› Issue (5) : 920-922.
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VHF-PECVD制备不同衬底温度微晶硅薄膜结构研究

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Structural Study of Microcrystalline Silicon Films Fabricated by VHF-PECVD at Different Substrate Temperatures

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