低介电常数(low-k)介质在ULSI中的应用前景

阮 刚;肖 夏;朱兆

电子学报 ›› 2000, Vol. 28 ›› Issue (11) : 84-87.

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论文

低介电常数(low-k)介质在ULSI中的应用前景

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Prospect on the Applicatoin of Low-k Dielectric in ULSI

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