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电子学报  2006, Vol. 34 Issue (8): 1485-1487    DOI:
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IC缺陷轮廓分形维估计的小波方法
孙晓丽1, 郝跃2, 宋国乡1
1. 西安电子科技大学理学院,陕西,西安 710071;2. 西安电子科技大学微电子学院,陕西西安 710071
Estimating the Fractal Dimension of IC Defect Outline by Wavelet
SUN Xiao-li1, HAO Yue2, SONG Guo-xiang1
1. School of Science,Xidian University,Xi'an,Shaanxi 710071,China;2. School of Microelectronics,Xidian University.,Xian,Shaanxi 710071,China

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