%0 Journal Article %A 王俊平 %A 郝跃 %T 真实缺陷的矩形模型及其关键面积计算 %D 2006 %R %J 电子学报 %P 1974-1977 %V 34 %N 11 %X 在集成电路(IC)中,为了进行有效的成品率估计和故障分析,与光刻有关的缺陷形状通常假设为圆模型.然而,真实缺陷的形状多种多样.本文提出一种真实缺陷的矩形模型及与之相关的关键面积计算模型,该模型既考虑了真实缺陷的形状又考虑了IC版图布线的特点.在缺陷引起故障概率预测方面,仿真结果表明新模型比圆模型更接近真实缺陷引起的故障概率. %U https://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/article_3004.shtml