2001, Vol. 29(2): 160-163    DOI:
深亚微米槽栅NMOSFET结构参数对其抗热载流子特性的影响
任红霞, 郝 跃, 许冬岗
西安电子科技大学微电子研究所,西安 710071
收稿日期 2000-01-10  修回日期 2000-06-12
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国防预研基金(No.99J8.1.1.DZD132)