2006, Vol. 34(11): 1974-1977    DOI:
真实缺陷的矩形模型及其关键面积计算
王俊平1,2, 郝 跃1
1. 西安电子科技大学微电子研究所,陕西西安 710071;2. 西安电子科技大学通信工程学院,陕西西安 710071
收稿日期 2004-06-29  修回日期 2006-06-19
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