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2006, Vol. 34(11): 1974-1977 DOI:
真实缺陷的矩形模型及其关键面积计算
王俊平
1,2
, 郝 跃
1
1. 西安电子科技大学微电子研究所,陕西西安 710071;2. 西安电子科技大学通信工程学院,陕西西安 710071
收稿日期
2004-06-29
修回日期
2006-06-19
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