%0 Journal Article %A 郭志刚 %A 陈国彬 %A 顾邦兴 %A 和文豪 %A 姜海峰 %A 王昊 %A 杜关祥 %T 基于金刚石NV色心的带状线芯片微波场成像 %D 2020 %R 10.3969/j.issn.0372-2112.2020.11.023 %J 电子学报 %P 2258-2262 %V 48 %N 11 %X 为了满足集成微波器件进行高分辨率微波近场测量的需求,本论文提出了一种基于金刚石氮空位(Nitrogen-Vacancy,NV)色心的微波近场成像技术.该技术可用于查找芯片等集成微波器件的干扰源和信号串扰.此微波近场成像方法采用金刚石NV色心颗粒作为场传感器,其中金刚石颗粒固定在锥形光纤的末端.由于塞曼效应,NV色心的光探测磁共振(Optical Detection Magnetic Resonance,ODMR)谱在外部静磁场环境中会分裂成为8个峰,通过测量共振峰频点的Rabi振荡谱,能够得到Rabi频率,接着通过2.8MHz/Gauss换算得出该处的微波场强度,最后通过将所测得所有数据点进行二维图像处理即可得到所测芯片和集成微波器件的表面微波场近场图像. %U https://www.ejournal.org.cn/CN/10.3969/j.issn.0372-2112.2020.11.023