太赫兹超表面技术及应用
吴杰民, 陆恺, 汪江鹏, 高昊, 段宗明, 崔铁军, 鲍迪
本文基于0.18 μm CMOS工艺提出了一种新型微波人工表面等离激元(Spoof Surface Plasmon Polariton,SSPP)耦合式滤波器结构并进行加工和测量,同时设计了一种太赫兹SSPP四边形滤波器并进行了全波仿真.新型微波SSPP耦合式滤波器通带为11~12.3 GHz(S 11<-10 dB,S 21>-3.5 dB),结构紧凑,电尺寸仅为0.018 4 λ g × 0.008 4 λ g,远小于其他基于集成电路工艺设计的无源滤波器.通过优化与调整,可以将新型微波SSPP耦合式滤波器的性能进一步优化到要求范围内.太赫兹SSPP四边形滤波器通带为210.8~241.3 GHz(S 11<-10 dB,S 21>-4.7 dB),带内插入损耗仅为2.7 dB,带外抑制良好.两种SSPP滤波器均采用非接触式电磁耦合的新型能量传递方式,结构设计新颖,并且微波段SSPP耦合式滤波器小型化优势明显,电尺寸仅为0.019 λ g × 0.009 λ g,易于芯片集成.本文提出的两种SSPP滤波器经过等比例缩放,可工作在微波、毫米波以及太赫兹频段,为新型片上无源滤波器的研究设计提供参考和借鉴.