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静电曲轴宽电子束二级几何像差及系数的计算
静电曲轴宽电子束二级几何像差及系数的计算
Computation on Geometrical Aberrations and Their Coefficient with Second-Order of Electrostatic Wide Electron Beam Having Curvilinear Axes
- 电子学报 2000年28卷第2期 页码:17-19
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