场发射阵列中聚焦电极制备的自对准技术

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场发射阵列中聚焦电极制备的自对准技术

论文 | 更新时间：2025-07-16

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- 场发射阵列中聚焦电极制备的自对准技术
- Self-adjustment Technique in Fabricating FFEA
- 屈晓声，李德杰，田宏，姚保纶
- 电子学报 2000年28卷第12期页码：29-30
- 作者机构：
  1. 清华大学电子工程系,北京,100084
  2. 大连铁道学院电信分院,大连,11602
  3. 清华大学电子工程系北京,100084
  4. 大连铁道学院电信分院大连,11602
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