离子束辅助沉积碳膜抑制栅电子发射研究

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论文 | 更新时间：2025-07-16

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- 离子束辅助沉积碳膜抑制栅电子发射研究
- Electron Emission Suppression Characteristics of Molybdenum-Grid Coated with Carbon Film by Ion Beam Assisted Deposition
- 柳襄怀，任琮欣，江炳尧，朱宏，刘炎源，刘静贤
- 电子学报 2002年30卷第5期页码：661-663
- 作者机构：
  1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室,上海,200050
  2. 中国科学院电子学研究所,北京,100080
  3. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室上海,200050
  4. 中国科学院电子学研究所北京,100080
- 作者简介：
- 基金信息：
  本项研究获得〈863〉国家高技术研究计划基金 (No.715-008-0011);〈973〉重大项目基金研究基金 (No.G2000067207-2)
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