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硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究
硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究
Design and Fabrication of Silicon Micromachining Suspended Inductor
- 电子学报 2002年30卷第11期 页码：1597-1600
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白凤仙
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大连理工大学电子科学与技术学院
大连理工大学电气工程学院
大连理工大学电子科学与技术学院辽宁大连
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