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射频微机械CPW开关的研究
射频微机械CPW开关的研究
Research for RF Micromechanical CPW Switch
- 电子学报 2003年31卷第5期 页码：671-673
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相关作者
丁 勇
刘泽文
刘理天
李志坚
相关机构
清华大学微电子学研究所
