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低温金属诱导横向晶化多晶硅材料和器件技术
低温金属诱导横向晶化多晶硅材料和器件技术
Low-Temperature Metal-Induced Laterally Crystallized Polycrystalline Silicon Material and Device Technology
- 电子学报 2003年31卷第5期 页码：662-666
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谢雨农
张志勇
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