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ULSI中铜互连线通孔电热性能的数值模拟
ULSI中铜互连线通孔电热性能的数值模拟
Numerical Simulation of Electric and Thermal Characteristic in ULSI Copper-Filled Inteconnect Via Hole
- 电子学报 2003年31卷第7期 页码：1104-1106
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