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降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型
论文 | 更新时间：2025-07-16
降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型
An Energy Transfer Photochemical Model for the Abatement of Total Organic Carbon in High Purity Water Used in ULSI Fabrication
- 电子学报 2003年31卷第11期 页码：1601-1604
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陈胜利
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