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多晶硅集成高温压力传感器研究
论文 | 更新时间:2025-07-16
    • 多晶硅集成高温压力传感器研究

    • Research on Poly-Silicon Integrated Pressure Sensor for High Temperature

    • 张 威 ,王阳元
    • 电子学报 2003年31卷第11期 页码:1736-1738

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