ULSI中Cu互连线的显微结构及可靠性

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论文 | 更新时间：2025-07-16

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- ULSI中Cu互连线的显微结构及可靠性
- Microstructure and Reliability of ULSI Copper Interconnects
- 王晓冬，吉元，李志国，卢振军，夏洋，刘丹敏，肖卫强
- 电子学报 2004年32卷第8期页码：1302-1304
- 作者机构：
  1. 北京工业大学材料科学工程学院,北京,100022
  2. 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京,100022
  3. 中国科学院微电子中心,北京,100029
  4. 北京工业大学材料科学工程学院北京,100022
  5. 北京工业大学电子信息与控制工程学院北京,100022
  6. 中国科学院微电子中心北京,100029
- 作者简介：
- 基金信息：
  国家自然科学基金 (No.69936020)
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