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一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构
论文 | 更新时间：2025-07-16
一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构
On-Line Extraction for Thermal Diffusivity of Surface-Micromachined Polysilicon Thin Films
- 电子学报 2006年34卷第8期 页码：1549-1552
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