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锗预非晶化注入对镍硅(NiSi)金属栅功函数的影响研究
锗预非晶化注入对镍硅(NiSi)金属栅功函数的影响研究
Study on the Impact of Germanium Preamorphization on the Work Function of Fully Silicided NiSi Gate
- 电子学报 2006年34卷第8期 页码：1534-1536
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邵文生
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