真实缺陷的矩形模型及其关键面积计算

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真实缺陷的矩形模型及其关键面积计算

论文 | 更新时间：2025-07-16

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- 真实缺陷的矩形模型及其关键面积计算
- Rectangular Defect Model and Critical Area Computation of Real Defect Outlines in VLSI
- 王俊平，郝跃
- 电子学报 2006年34卷第11期页码：1974-1977
- 作者机构：
  1. 西安电子科技大学微电子研究所,陕西,西安,710071
  2. 西安电子科技大学通信工程学院,陕西,西安,710071
  3. 西安电子科技大学微电子研究所陕西西安,710071
  4. 西安电子科技大学通信工程学院陕西西安,710071
- 作者简介：
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  国家863高科技计划 (No.2003AA1Z1630)
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