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热致封装效应对MEMS器件谐振特性 影响的单元库模型
热致封装效应对MEMS器件谐振特性 影响的单元库模型
Modeling of Thermally Induced Package Effect on the Resonant Characteristics of MEMS Device
- 电子学报 2008年36卷第5期 页码:943-947
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