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热致封装效应对MEMS器件谐振特性 影响的单元库模型
论文 | 更新时间:2025-07-16
    • 热致封装效应对MEMS器件谐振特性 影响的单元库模型

    • Modeling of Thermally Induced Package Effect on the Resonant Characteristics of MEMS Device

    • 宋 竞 ,黄庆安 ,唐洁影
    • 电子学报 2008年36卷第5期 页码:943-947

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