GaN外延结构中微区应变场的测量和评价

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GaN外延结构中微区应变场的测量和评价

论文 | 更新时间：2025-07-16

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- GaN外延结构中微区应变场的测量和评价
- Measurement and Evaluation of Micro-Sized Strain Fields in GaN Epitaxial Structure
- 王俊忠，吉元，田彦宝，牛南辉，徐晨，韩军，郭霞，沈光地
- 电子学报 2008年36卷第11期页码：2139-2143
- 作者机构：
  1. 北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京,100124
  2. 北京工业大学光电子技术研究所,北京,100124
  3. 北京工业大学固体微结构与性能研究所北京,100124
  4. 北京工业大学光电子技术研究所北京,100124
- 作者简介：
- 基金信息：
  国家自然科学基金 (No.69936020)
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