反应离子深刻蚀中加强热传递和抑制Notching效应的方法

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科研通信 | 更新时间：2025-07-08

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- 反应离子深刻蚀中加强热传递和抑制Notching效应的方法
- A Dual-Purpose Method to Enhance Heat Transfer and Prevent Notching Effect in Deep Reactive Ion Etching
- 丁海涛，杨振川，闫桂珍
- 电子学报 2010年38卷第5期页码：1201-1204
- 作者机构：
  北京大学微电子学研究院,北京,100871
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