新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究

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新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究

学术论文 | 更新时间：2025-07-08

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- 新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究
- A Novel MEMS Inertial Sensor with the Actuators Drived by Lorentz Forcefor Increasing the Initial Sensing Capacitance
- 董林玺，焦继伟，颜海霞，孙玲玲
- 电子学报 2010年38卷第5期页码：1053-1057
- 作者机构：
  1. 杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,浙江,杭州,310018
  2. 中科院传感技术国家重点实验室,上海,200050
  3. 东芝水电设备有限公司,浙江,杭州,311504
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