基于模糊Petri网推理的半导体生产线投料控制策略

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基于模糊Petri网推理的半导体生产线投料控制策略

学术论文 | 更新时间：2025-07-16

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- 基于模糊Petri网推理的半导体生产线投料控制策略
- Releasing Control Policy for Semiconductor Wafer Fabrication Based on Fuzzy Petri Nets-Reasoning
- 曹政才，赵会丹，王永吉
- 电子学报 2011年39卷第7期页码：1545-1550
- 作者机构：
  1. 北京化工大学信息科学与技术学院,北京,100029
  2. 中国科学院计算机科学国家重点实验室,北京,100080
  3. 北京化工大学信息科学与技术学院北京,100029
  4. 中国科学院计算机科学国家重点实验室北京,100080
- 作者简介：
- 基金信息：
  教育部博士点基金新教师课题 (No.20090010120011);中央高校基本科研业务费项目 (No.ZZ0914);机械系统与振动国家重点实验室开放课题 (No.MSV-2010-19);机械制造系统工程国家重点实验室开放课题 (No.2010005);计算机软件新技术国家重点实验室开放课题 (No.KFKT2010B11)
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