您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究
论文 | 更新时间：2025-07-16
倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究
Study of Inertial Pulse Response of MEMS Capacitive Accelerometer with Non-Parallel Combs
- 电子学报 2008年36卷第5期 页码：1035-1040
移动端阅览
HTML全文
参考文献
出版信息
数据统计
67
浏览量
1272
下载量
10
CSCD
文章被引用时，请邮件提醒。
提交
工具集
- BibTeX下载
- Endnote下载
- RefMan 下载
- NoteExpress下载
- NoteFirst下载
相关文章
基于SOI-SOG键合的圆片级真空封装MEMS电场传感器
新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计
包含绕包铝箔屏蔽的数据线缆信号完整性解析方法
RIS辅助宽带太赫兹ISAC系统鲁棒保密传输方法
面向扇出型晶圆级封装的芯片间RDL布线算法
相关作者
刘俊
夏善红
彭春荣
储昭志
雷虎成
刘向明
张洲威
张巍
相关机构
中国科学院空天信息创新研究院传感技术联合国家重点实验室
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
中国科学院微电子研究所
中国科学院地质与地球物理研究所
中国科学院大学
