室温工作双敏感膜HSGFET型O3传感器的研究

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室温工作双敏感膜HSGFET型O₃传感器的研究

论文 | 更新时间：2025-07-16

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- 室温工作双敏感膜HSGFET型O₃传感器的研究
- HSGFET Ozone Sensor with Dual Sensitive Layer Operating at Room Temperature
- 牛文成，孙学珠，吴小晔，李华伟，那兴波，俞梅，陈兴梧，张福海，谢建湘
- 电子学报 2001年29卷第5期页码：604-606
- 作者机构：
  1. 南开大学信息技术科学学院,天津,300071
  2. 天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津,300072
  3. 南开大学信息技术科学学院天津,300071
  4. 天津大学精密仪器与光电子工程学院天津,300072
- 作者简介：
- 基金信息：
  国家自然科学基金 (No.69876023);天津市重点自然科学基金 (No.993800611)
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