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面阵IRCCD摄像芯片用折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作
面阵IRCCD摄像芯片用折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作
The Silicon Microlens Arrays Fabricated by Ion Beam Etching for IR CCD FPA Device
- 电子学报 1999年第8期
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