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面阵IRCCD摄像芯片用折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作
更新时间:2025-12-08
    • 面阵IRCCD摄像芯片用折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作

    • The Silicon Microlens Arrays Fabricated by Ion Beam Etching for IR CCD FPA Device

    • 张新宇 ,易新建 ,何苗 ,赵兴荣
    • 电子学报 1999年第8期

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