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基于硅基三维集成技术的W频段有源相控阵微系统
基于硅基三维集成技术的W频段有源相控阵微系统
W Band Active Phased Array Micro System Based on Silicon Three Dimensional Integration Technique
- 电子学报 2023年51卷第8期 页码：2160-2167
DOI： 10.12263/DZXB.20220054
修回：2022-06-26
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