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框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究
学术论文 | 更新时间:2025-12-11
    • 框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究

    • The Performance Improvement of Thin Film Bulk Acoustic Resonators by Frame Structure

    • 吴永乐 ,吴昊鹏 ,赖志国 ,蔡洵 ,唐滨 ,杨清华 ,杨雨豪 ,王卫民
    • 电子学报 2024年52卷第2期 页码:407-413
    • DOI: 10.12263/DZXB.20220346     

      中图分类号:
    • 修回:2023-05-15 ,

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