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氮化铝Lamb波谐振器的能量损耗分析研究
氮化铝Lamb波谐振器的能量损耗分析研究
Analysis and Research on Energy Loss of Aluminum Nitride Lamb Wave Resonators
- 电子学报 2023年51卷第1期 页码：222-230
DOI： 10.12263/DZXB.20220897
修回：2022-10-07
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