基于GaN/Ti3C2Tx的TMA传感器气敏性能及其应用研究

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基于GaN/Ti₃C₂T_x的TMA传感器气敏性能及其应用研究

学术论文 | 更新时间：2025-12-08

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- 基于GaN/Ti₃C₂T_x的TMA传感器气敏性能及其应用研究
- Research on Gas Sensing Performance and Application of TMA Sensor Based on GaN/Ti₃C₂T_x
- 韩丹，洪宇涛，刘志华，段奇，李栋辉，王雨，史杰旭，桑胜波
- 电子学报 2024年52卷第4期页码：1389-1398
- 作者机构：
  太原理工大学电子信息与光学工程学院，山西太原 030024
- 作者简介：
  韩丹女，1988年10月生，山西吕梁人.现为太原理工大学电子信息与光学工程学院副教授、硕士生导师.研究方向为半导体材料制备及其气体传感器方向.E-mail: hd06520101@163.com
  洪宇涛男，2000年6月生，山西太原人.现为太原理工大学电子信息与光学工程学院硕士研究生.研究方向为半导体材料制备及其气体传感器.E-mail: hyt15303418298@163.com
  桑胜波男，1979年4月生，山东菏泽人.现为太原理工大学教授、博士生导师.研究方向为传感与集成测试系统.E-mail: sunboa-sang@tyut.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金(52375572;62031022);山西省重点研发计划项目(202102030201003);山西省水利科学技术研究推广项目(2023GM16);山西浙大新材料与化工研究院研发项目(2022SX-AT001)
- DOI： 10.12263/DZXB.20231180
  中图分类号：
- 修回：2024-03-07 ，
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