赵文浒 男，现为上海交通大学集成电路学院硕士研究生.主要研究方向为MEMS呼吸传感器.E-mail: zhaowenxu@sjtu.edu.cn

王嘉祥 男，现为上海交通大学集成电路学院博士研究生.主要研究方向为3D-MEMS器件.E-mail: wangjiaxiang@sjtu.edu.cn

胡致远 男，现为海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系博士研究生.主要研究方向为 MEMS无线传感器.E-mail: hzy_sjtu@sjtu.edu.cn

苏开明 男，现为上海交通大学附属第六人民医院耳鼻咽喉头颈外科主任医师、博士生导师，同时担任鼻科教研组组长.主要研究方向为鼻部疾病与儿童阻塞性睡眠呼吸暂停综合征（OSAS）.E-mail: 021china@sina.com

李铁 男，现为中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员，博士生导师，微系统技术重点实验室副主任.主要研究方向为微纳传感器机理、器件及应用基础.中国电子学会会员编号：E190029803M.E-mail: tli@mail.sim.ac.cn

杨卓青 男，现为上海交通大学集成电路学院教授、博士生导师.主要研究方向为微机电系统（MEMS），MEMS惯性开关器件，超细基底三维（3D）曲面光刻技术，微纳柔性传感技术等.