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氧化物半导体薄膜晶体管的栅工程:材料、结构、界面与性能调控
氧化物半导体薄膜晶体管的栅工程:材料、结构、界面与性能调控
Gate Engineering of Oxide Semiconductor Thin-Film Transistors: Materials, Structures, Interfaces, and Performance Modulation
- 电子学报 2025年53卷第12期 页码:4541-4559
DOI: 10.12263/DZXB.20250771
录用:2025-12-11
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相关作者
王 文
孟志国
郝丕柱
裘南畹
刘卫东
李志坚
刘理天
余志平
相关机构
香港科技大学电机电子工程系,香港九龙清水湾
山东工业大学
清华大学微电子学研究所
美国斯坦福大学集成系统中心
清华大学微电子学研究所美国斯坦福大学集成系统中心

