具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性

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具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性

科研通信 | 更新时间：2025-07-16

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- 具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性
- Secondary Electron Characteristics of Dielectrics with Buried Structures in SEM
- 郝杰，李维勤，钱钧
- 电子学报 2015年43卷第5期页码：1028-1034
- 作者机构：
  1. 西安航空学院,陕西,西安,710077
  2. 西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西,西安,710048
  3. 西安应用光学研究所,陕西,西安,710065
  4. 西安航空学院,陕西,西安,710077
  5. 西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西,西安,710048
  6. 西安应用光学研究所,陕西,西安,710065
- 作者简介：
- 基金信息：
  国家自然科学基金 (No.11175140);陕西省自然科学基金 (2013JM8001)
- DOI： 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.05.029
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