半导体生产线基于DBR和ANFIS相融合的动态调度方法研究

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半导体生产线基于DBR和ANFIS相融合的动态调度方法研究

学术论文 | 更新时间：2025-07-16

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- 半导体生产线基于DBR和ANFIS相融合的动态调度方法研究
- A DBR and ANFIS Integrated Dynamic Scheduling Algorithm for Semiconductor Wafer Fabrication
- 曹政才，彭亚珍，李博，刘民
- 电子学报 2015年43卷第10期页码：2082-2087
- 作者机构：
  1. 北京化工大学信息科学与技术学院,北京,100029
  2. 吉林大学符号计算与知识工程教育部重点实验室,吉林,130012
  3. 中国科学院理化技术研究所,北京,100190
  4. 清华大学自动化系,北京,100084
  5. 北京化工大学信息科学与技术学院,北京,100029
  6. 吉林大学符号计算与知识工程教育部重点实验室,吉林,130012
  7. 中国科学院理化技术研究所,北京,100190
  8. 清华大学自动化系,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
  国家自然科学基金 (No.51375038);高等学校博士学科点专项科研基金博导类资助课题 (No.20130010110009);复杂系统管理与控制国有重点实验开放课题 (No.20120104);吉林大学符号计算与知识工程教育部重点实验开放课题 (No.93K172014K05)
- DOI： 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.10.030
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