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新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计
新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计
A New Type Capacitive MEMS Accelerometer Digital Interface Circuit Design
- 电子学报 2016年44卷第10期 页码:2507-2513
DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2016.10.032
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