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具有L型栅极场板的双槽双栅绝缘体上硅器件新结构
具有L型栅极场板的双槽双栅绝缘体上硅器件新结构
A Dual-Trench-Gate Silicon on Insulator Device with a L-shaped Gate Field Plate
- 电子学报 2018年46卷第5期 页码:1146-1152
DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2018.05.019
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