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缝隙阵列的时域溅射特性研究
学术论文 | 更新时间:2025-07-16
    • 缝隙阵列的时域溅射特性研究

    • Study on the Time Domain Sputtering Effect and Scattering of Slot Arrays of Different Sizes

    • 侯海健 ,李大伟 ,王均宏
    • 电子学报 2018年46卷第8期 页码:2030-2034
    • DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2018.08.032     

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