The New Progress on Electron-Optics

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更新时间：2025-12-08

- The New Progress on Electron-Optics
- Acta Electronica Sinica Issue 12, Pages: 63-66(1993)
- 作者机构：
  
  北京大学无线电系,北京,100871
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：1993
- 稿件说明：
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[1]西门纪业.电子光学的新进展(1991—1993)[J].电子学报,1993(12):63-66.

Ximen Jiye. The New Progress on Electron-Optics[J]. Acta Electronica Sinica, 1993, (12): 63-66.
[1]西门纪业.电子光学的新进展(1991—1993)[J].电子学报,1993(12):63-66. DOI：

Ximen Jiye. The New Progress on Electron-Optics[J]. Acta Electronica Sinica, 1993, (12): 63-66. DOI：

<正> 低压扫描电镜（LVSEM）的工作电压一般认为是在0.75到3～5kV范围内.其主要优点为:可以减少试样的荷电

直接观察非导体试样而不用涂覆

并减少图形的假象;穿透深度浅

提高图象的衬度和立体感;改进信号噪声比;对于半导体、塑料、高分子的生物试样还可以减少试样的辐射损伤.因此低压扫描电镜成为具有特色的电镜分析工具.近年来国外正在兴起低压

<正> 低压扫描电镜（LVSEM）的工作电压一般认为是在0.75到3～5kV范围内.其主要优点为:可以减少试样的荷电

直接观察非导体试样而不用涂覆

并减少图形的假象;穿透深度浅

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