The Properties and Applications of Gas Discharge Beams

Yang Zhengming; Chen Songsheng; Yang Gengx-ing; Zhongyuan

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The Properties and Applications of Gas Discharge Beams

更新时间：2025-12-08

- The Properties and Applications of Gas Discharge Beams
- Acta Electronica Sinica Issue 6, Pages: 90-93(1993)
- 作者机构：
  
  1. 东南大学电子工程系
  2. 美国科罗拉多州立大学南京 210018
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：1993
- 稿件说明：
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[1]杨正名,陈松生,罗宗兰,杨耕兴,钟嫄,G.J.Collins.气体放电电子束的特性和应用[J].电子学报,1993(06):90-93.

Yang Zhengming, Chen Songsheng, Yang Gengx-ing, et al. The Properties and Applications of Gas Discharge Beams[J]. Acta Electronica Sinica, 1993, (6): 90-93.
[1]杨正名,陈松生,罗宗兰,杨耕兴,钟嫄,G.J.Collins.气体放电电子束的特性和应用[J].电子学报,1993(06):90-93. DOI：

Yang Zhengming, Chen Songsheng, Yang Gengx-ing, et al. The Properties and Applications of Gas Discharge Beams[J]. Acta Electronica Sinica, 1993, (6): 90-93. DOI：

摘要

本文描述了产生在软真空中的电子束及其特性

这种成本低廉的大功率电子束在微电子、光电子加工和等离子体化学方面有很大应用价值。文中给出了电子束的放电特性、强度空间分布和能谱的实测结果

对这种电子束的形成机理提出了新的见解。

Abstract

The electron beams created in soft vacuum by gas discharge and its major properties are decribed.These beams with high power are very useful for microelectronic and optoelectronic processes and plasma chemistry.The measured Ⅰ-Ⅴ charactristics

spatial intensity profiles

and energy spec trums of these electron beam are shown.Also a new model of the beam mechanism is suggested.

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