Micromechanical Electronics System

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更新时间：2025-12-08

- Micromechanical Electronics System
- Acta Electronica Sinica Issue 5, Pages: 76-81(1993)
- 作者机构：
  
  1. 辽宁大学
  2. 辽宁大学沈阳 110036
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：1993
- 稿件说明：
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[1]孙彦卿,石广元.微机械电子学系统[J].电子学报,1993(05):76-81.

Sun Yanqing, Shi Guangyuan. Micromechanical Electronics System[J]. Acta Electronica Sinica, 1993, (5): 76-81.
[1]孙彦卿,石广元.微机械电子学系统[J].电子学报,1993(05):76-81. DOI：

Sun Yanqing, Shi Guangyuan. Micromechanical Electronics System[J]. Acta Electronica Sinica, 1993, (5): 76-81. DOI：

本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展

提出了微机械电子学系统的概念

指出了微机械电子学系统的发展前景。

In this paper

we briefly review the development of the micromechanisms

microsensors and microactuators

advance the concept of micromechanical electronics system and point out its developmental perspective.

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